旋转蒸发仪，即旋转薄膜蒸发仪，是半导体领域中最为重要的制造装备之一。它的主要作用是将涂层薄膜质料加热蒸发，并在旋转下使蒸发物质形成平均的薄膜沉积到基板上。
旋转蒸发仪的优点是加热平均、旋转速率可调、顺应局限广等。其应用不仅局限于半导体领域，同时也普遍应用于电子、化工、质料和生物科技等领域。在这些领域中，旋转蒸发手艺被用于制造微细结构和纳米质料等。
随着社会科技的一直生长，旋转蒸发手艺也在一直创新和完善。现在，海内多家企业已经研发出了一批具备自主知识产权的旋转蒸发仪，其中一些产物的手艺水平已经到达国际领先水平。